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GIGAFAB M PVA TEPLA AG
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Version la plus compacte de la famille GIGAfab, visant le nettoyage SU-8, la fabrication de MEMS, le "wafer bumping" et la technologie d'écran plat.

Basé sur une technologie unique de source de plasma hyper et du contrôle de température du plateau accueillant le substrat, il est idéal pour la R&D et la production grâce à sa large zone de travail. En effet, il est adapté aux traitements sur les grandes surfaces.

Spécifications techniques :
- Chambre de plasma : aluminium.
- Plateau refroidi : 310 mm x 310 mm.
- Chargement manuel du substrat dans le tiroir.

Génération de plasma :
- Fréquence micro-ondes : 2,45 GHz.
- Puissance : 2000 W.
- Puissance variable.

Options :
- Entrées additionnelles de gaz.
- Gaz hydrogène disponible.
- Générateur hydrogène certifié.
- Pompe à vide.

Applications :
- Photoresist Ashing, Descum.
- SU-8 Ashing.
- Sacrificial layer removal.

À PROPOS DE PVA TEPLA AG :
Fondée en 1991, PVA TePla AG a rejoint le groupe PVA TEPLA en 2002.
PVA TePla AG conçoit et fabrique des systèmes plasma.

Un plasma est un gaz ionisé composé d'électrons, de particules ioniques chargées positivement ou négativement, d'atomes neutres et de molécules. L'ensemble est électriquement neutre.
Le plasma est considéré comme le quatrième état de la matière après l’état solide, liquide ou gazeux.
Les plasmas sont très présents à l'état naturel (étoiles, couronne solaire, espace interstellaire, aurore boréale, éclair, etc.), notre univers en est composé à 99%.
Dans l'industrie, les traitements plasma sont utilisés pour l'amélioration et le contrôle fin des propriétés de surface des matériaux (métaux, plastiques et élastomères, verres, céramiques, composites, textiles, etc.) pour le revêtement, le nettoyage, l’activation ou encore la gravure. Sa simplicité, sa facilité de mise en œuvre, ses caractéristiques économiques et écologiques font de la technologie plasma une technologie très attractive. Les domaines d’applications sont donc très variés et concernent de nombreux secteurs d’activité comme les nanotechnologies, l’aéronautique, l’automobile, la microélectronique ou encore le médical.

MB Electronique dispose, dans ses locaux, d’un laboratoire équipé d’un système plasma basse pression (Ion 40) et d’un système plasma atmosphérique (Plasma Pen).
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