| | | | Système plasma - Diamètre de 300 mm - GIGAbatch 380P PVA TePla AG.
Les systèmes plasma GIGAbatch 360P et 380P sont adaptés aux exigences les plus strictes de l'industrie des semi-conducteurs et utilisent la même géométrie de chambre. Le système 380P, la chambre à un diamètre intérieur de 300 mm et peut donc accueillir 25 wafers d'un diamètre de 200 mm. Le modèle 360P, avec un diamètre de chambre de 245 mm, peut contenir quant à lui jusqu'à 50 wafers d'un diamètre de 150 mm. Dans Les systèmes P se distinguent des systèmes de la série M par leur compatibilité avec les exigences des salles blanches jusqu'à la classe 100.
CARACTÉRISTIQUES : - Chambre plasma : Quartz, profondeur > 395 millimètres (15"). - Diamètre : 300 millimètres (9,6... |
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