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Système de nettoyage plasma automatique pour wafer de 200 ou 300 millimètres s'intégrant dans des chaînes de fabrication de semi conducteur et de MEMS.
La technologie unique de la source de plasma hyper assure une meilleure uniformité et un nettoyage performant dans une gamme de température étendue. Système approprié aux gaz fluorés.
Plate-forme modulaire configurable avec de diverses stations de charge et décharge ains que version avec "chuck" . Facile d'utilisation et maintenance.

À PROPOS DE PVA TEPLA AG :
Fondée en 1991, PVA TePla AG a rejoint le groupe PVA TEPLA en 2002.
PVA TePla AG conçoit et fabrique des systèmes plasma.

Un plasma est un gaz ionisé composé d'électrons, de particules ioniques chargées positivement ou négativement, d'atomes neutres et de molécules. L'ensemble est électriquement neutre.
Le plasma est considéré comme le quatrième état de la matière après l’état solide, liquide ou gazeux.
Les plasmas sont très présents à l'état naturel (étoiles, couronne solaire, espace interstellaire, aurore boréale, éclair, etc.), notre univers en est composé à 99%.
Dans l'industrie, les traitements plasma sont utilisés pour l'amélioration et le contrôle fin des propriétés de surface des matériaux (métaux, plastiques et élastomères, verres, céramiques, composites, textiles, etc.) pour le revêtement, le nettoyage, l’activation ou encore la gravure. Sa simplicité, sa facilité de mise en œuvre, ses caractéristiques économiques et écologiques font de la technologie plasma une technologie très attractive. Les domaines d’applications sont donc très variés et concernent de nombreux secteurs d’activité comme les nanotechnologies, l’aéronautique, l’automobile, la microélectronique ou encore le médical.

MB Electronique dispose, dans ses locaux, d’un laboratoire équipé d’un système plasma basse pression (Ion 40) et d’un système plasma atmosphérique (Plasma Pen).
GIGAFAB Asyntis
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