| | | | Système plasma - Diamètre de 245 mm - GIGAbatch 360P PVA TePla AG.
Les systèmes plasma GIGAbatch 360P et 380P sont adaptés aux exigences les plus strictes de l'industrie des semi-conducteurs et utilisent la même géométrie de chambre. Le système 360P, avec un diamètre de chambre de 245 mm, peut contenir jusqu'à 50 wafers d'un diamètre de 150 mm. Dans le système 380P, la chambre à un diamètre intérieur de 300 mm et peut donc accueillir 25 wafers d'un diamètre de 200 mm. Les systèmes P se distinguent des systèmes de la série M par leur compatibilité avec les exigences des salles blanches jusqu'à la classe 100.
CARACTÉRISTIQUES : - Chambre plasma : Quartz, profondeur > 395 millimètres (15"). - Diamètre : 245 millimètres (9,6"). - Géné... |
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