MOLBOX RFM — Molbloc -L: 1sccm-100slm/Molbloc-S :Jusqu'à 5000slm

Le molbox RFM est une unité de support pour effectuer des mesures de débits massiques à l’aide d’éléments de débit sonique laminaire molbloc-L et molbloc-S.

Les éléments de débit du molbloc sont connectés au molbox RFM avec deux connexions de pression et une ligne de données. Le molbox RFM lit les données d’étalonnage depuis le molbloc EEPROM et mesure la pression du molbloc en amont et en aval avec ses capteurs de pression de référence incorporés de haute précision. Un système de mesure ohmique lit la résistance des thermomètres à résistance de platine du molbloc à partir de laquelle la température du molbloc est calculée. A l’aide des données d’étalonnage du molbloc, des pressions, de la température et des propriétés des gaz stockés dans la mémoire molbox RFM, le débit du gaz circulant dans le molbloc est calculé. Pour des éléments de débit du molbloc-L, une option de micro-gamme est disponible pour augmenter la résolution et la précision de mesure du débit sous 10 % FS de la gamme

En vidéo