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  • Plasma atmosphérique
    Le plasma est connu comme étant le 4ème état de la matière Par apport d’énergie le solide devient liquide…
  • Plasma basse pression
    Le plasma est connu comme étant le 4ème état de la matière Par apport d’énergie le solide devient liquide…
  • Métrologie de wafer
    La métrologie de wafer par plasma caractérise l'état d'une tranche de silicium sans la détruire. Deux…

Le traitement plasma modifie l'état de surface d'un matériau sans solvant : il nettoie les contaminations organiques, active les surfaces avant collage ou moulage, et grave sélectivement. En microélectronique, il conditionne directement la qualité de l'encapsulation et l'adhérence des interfaces.

En savoir plus sur Système plasma

Notre gamme PVA TEPLA AG couvre le plasma atmosphérique et le plasma basse pression, les systèmes de métrologie de wafer pour l'analyse de défauts liés au stress mécanique et le dosage d'implantation ionique. Les chambres vont du support wafer 200 mm à des volumes de 375 × 375 × 965 mm, en technologie RF, micro-onde ou combinée, avec ou sans déplacement motorisé.

MB Electronique dispose d'un laboratoire de prestations plasma : vous pouvez faire valider votre procédé sur vos échantillons avant d'investir. Contactez nos spécialistes pour organiser ces essais.