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MS1 (DC) — Positionneurs motorisés - 3µm
Les positionneurs motorisés de la série MS ont été développés pour les tests automatiques RF / DC des wafers 150, 200 & 300mm.
Les positionneurs motorisés de la série MS ont été développés pour les tests automatiques RF / DC des wafers 150, 200 & 300 mm.
Spécifications :
- Resolution 0,1µm.
- Repetitivité 1µ.
- Excursion (x,y,z) 25x25x15mm.
- Base vide ou magnetique (verouillage)
- Support pointes DC, Kelvin & RF.
MS1 (DC)
Fiche technique
- Résolution
- ≤ 3µm
- Application
- DC Parametrique
