GIGABATCH 310M PVA TEPLA AG
GIGABATCH 310M

GIGABATCH 310M

PVA TEPLA AG

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Système plasma - Diamètre de 245 mm - GIGAbatch 310M PVA TePla AG.

Le système plasma GIGAbatch 310M est le modèle d'entrée de gamme de la gamme de produits GIGAbatch. En tant que plus petit système, c'est la variante la plus rentable pour une utilisation dans les laboratoires et les universités. Cependant, même dans sa version de base, il peut être utilisé pour réaliser des processus plasma manuels et automatiques avec un conduit de gaz MFC et un générateur de 600 W.
La chambre peut contenir jusqu'à 25 wafers d'un diamètre de 150 mm, soit en lot dans un bateau en quartz, soit en tant que substrat unique avec des dispositifs spéciaux pour le chargement.
Il existe également une large gamme d'accessoires pour une configuration individuell...

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