Système compact de table et de prix attractif pour des applications semi-conducteur dans les universités et des laboratoires de R&D. Approprié aux wafers de 2" à 6". Etudié pour recevoir divers magasins horizontaux pour stockage des wafers, de petits échantillons ainsi que des magasins en quartz pour traitement de wafers.
Option pour nettoyage de surface SU-8

Chambre Plasma : Quartz. Diamètre 245mm, Profondeur 395mm
Génération Plasma : 2,45GHz, Max 600 Watts
Puissance variable

Options : Nettoyage SU-8 incorporant refroidisseur du wafer, contrôle de la température, End Point Detection.
Entrées gaz supplémentaires.

Applications :
Photoresist Ashing
SU-8 ashing
Substrat cleaning

À PROPOS DE PVA TEPLA AG :
Fondée en 1991, ...