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SAM 300 AUTO-WAFER — Microscope acoustique haute performance -Inspection automatique de tranches
SAM300 AW DISCUS : Microscope acoustique haute performance, automatique, transducteurs de 10 à 400 MHz, Dédié aux contrôles de tranches jusqu’à 300mm. Compatible salle blanche classe 100 (autres sur demande).
SAM300 AW DISCUS : Microscope acoustique haute performance, automatique, transducteurs de 10 à 400 MHz, Dédié aux contrôles de tranches jusqu’à 300 mm. Compatible salle blanche classe 100 (autres sur demande).
La série SAM300AW a été spécialement développée pour l’inspection automatique de tranches collées ou de MEMS afin de détecter dans un flux de production des défauts (vide, cavité, délamination, etc.). Les données collectées sont analysées et interprétées automatiquement puis exportées au format de la Fab.
Fort volume : Le chargement automatique et l’utilisation de plusieurs transducteurs garantis un volume de traitement élevé en phase avec les contraintes de production (temps d’inspection minimisé drastiquement).
Flexibilité : L’architecture du système permet une intégration simple et rapide dans l’environnement de production client (fonctions spécifiques).
Le SAM300 AW est la nouvelle référence de l’imagerie acoustique en production.
SAM 300 AUTO-WAFER
Fiche technique
- Chargement
- Automatique
- Bande RF acoustique
- 1 à 500 MHz
- Application
- Production
- Zone de scan
- 200x200µm à 320x320mm
