SIRD PVA TEPLA AG
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SIRD
    SIRD
    SIRD: Scanning IR Depolarization System for Inline Stress Defect Analysis
    L'introduction des wafers de 300mm a apporté son lot de nouvelles normes avec comme une des conséquences une augmentation importante de la superficie et du poids pour une épaisseur qui , elle n'a presque pas variée accroissant ainsi sensiblement le risque de rupture. Par exemple, dès qu'un wafer de 300mm possède des secteurs de tension mécanique interne élevée (contrainte), on assiste à une augmentation significative de la probabilité de rupture pendant le processus de fabrication du composant avec toutes les conséquences coûteuses induites. Par conséquent, le dépistage précoce de ces contraintes et la prévention d'une rupture attire de plus en plus l'attention. De plus, les contraintes sur les wafers ont également une influence négative sur des caractéristiques moléculaire du silicium et par conséquent sur les fonctionnalités des puces extraites de ces wafers.

    À PROPOS DE PVA TEPLA AG :
    Fondée en 1991, PVA TePla AG a rejoint le groupe PVA TEPLA en 2002.
    PVA TePla AG conçoit et fabrique des systèmes plasma.

    Un plasma est un gaz ionisé composé d'électrons, de particules ioniques chargées positivement ou négativement, d'atomes neutres et de molécules. L'ensemble est électriquement neutre.
    Le plasma est considéré comme le quatrième état de la matière après l’état solide, liquide ou gazeux.
    Les plasmas sont très présents à l'état naturel (étoiles, couronne solaire, espace interstellaire, aurore boréale, éclair, etc.), notre univers en est composé à 99%.
    Dans l'industrie, les traitements plasma sont utilisés pour l'amélioration et le contrôle fin des propriétés de surface des matériaux (métaux, plastiques et élastomères, verres, céramiques, composites, textiles, etc.) pour le revêtement, le nettoyage, l’activation ou encore la gravure. Sa simplicité, sa facilité de mise en œuvre, ses caractéristiques économiques et écologiques font de la technologie plasma une technologie très attractive. Les domaines d’applications sont donc très variés et concernent de nombreux secteurs d’activité comme les nanotechnologies, l’aéronautique, l’automobile, la microélectronique ou encore le médical.
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