Sondes DC Paramétriques — Triax - fA & fF

Les sondes DC Paramétriques ont été développées pour mettre en oeuvre des mesures extrêmement précises à très bas niveau (fA/fF) pour la caractérisation, la fiabilité et le suivi des processus de fabrication des semiconducteurs.

Elles assurent une continuité supérieure aussi bien du « Shield », connectée à la technologie Micro-Chambre® brevetée faisant entre autre office de cage de faraday, que de la « Garde » en connectivité triax de l’instrument de mesure jusqu’au dispositif sous pointes afin d’atteindre de très faible niveau de courant de fuite et de bruit. Leur conception a été améliorée afin de garantir des mesures optimales en température jusqu’à +300 °C. La série DCP est disponible en version Kelvin et Quasi-Kelvin (point chaud proche du contact).

DCP100 :

• Mesures gardées en totalité (Kelvin ou Quasi-Kelvin).
• Pointe remplaçable de 0.5, 1.5 ou 5µm en tungstène.

DCP-HTR :

• Mesures gardées en totalité (Quasi-Kelvin) jusqu’à 300 °C.
• Pointe remplaçable de 9 ou 19µm en tungstène (Option BeCU).
• Faible niveau de bruit & de courant de fuite.

Les performances de ces sondes sont grandement améliorées avec les stations Cascade Microtech équipées des technologies propriaitaires : Micro-Chambre® (blindage total & obscurité), FemptoGuard® (chuck kelvin gardé) et Attoguard® pour descendre aussi bas que le fA et/ou le fF.

Nos équipes commerciales et applications se tiennent à votre disposition pour vous conseiller.